| 摘要 |
<p>Capteur à structure monolithique intégrée pour la détection de rayonnement thermique comportant un substrat de support (1), une cavité (8) et des éléments de capteurs (3) pour la détection du rayonnement thermique. Le rayonnement thermique incident (11) traverse le substrat de support (1) pour arriver sur l'élément de capteur (3). L'élément de capteur (3) est suspendu dans la cavité (8) par des suspensions (6, 13', 14') assurant également le branchement électrique des éléments de capteurs. L'invention concerne également le procédé de fabrication de ce capteur.</p> |
