| 发明名称 |
Kristalline Dünnschicht und Verfahren zu deren Herstellung, Dünnfilmelement, Dünnfilmschaltkreis und Vorrichtung unter Verwendung des Elements oder Schaltkreises |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60239031(D1) |
申请公布日期 |
2011.03.10 |
| 申请号 |
DE20026039031 |
申请日期 |
2002.05.31 |
| 申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
KUMOMI, HIDEYA;MIZUTANI, HIDEMASA;KONDO, SHIGEKI |
| 分类号 |
C30B13/34;G02F1/1368;C23C26/02;C30B13/00;C30B13/22;G02F1/1333;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;H01L39/24 |
主分类号 |
C30B13/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
