| 摘要 |
Die Erfindung betrifft einen CVD-Reaktor mit einem in einem Reaktorgehäuse angeordneten beheizbaren Körper (2, 3), mit einer vom Körper (2, 3) beabstandeten Heizeinrichtung (4, 17) zum Aufheizen des Körpers (2, 3) und mit einer vom Körper (2, 3) beabstandeten Kühleinrichtung (5, 18), die so angeordnet sind, dass von der Heizeinrichtung (4, 17) über den Abstandsraum zwischen Heizeinrichtung (4, 17) und Körper (2, 3) Wärme zum Körper (2, 3) und vom Körper (2, 3) über den Abstandsraum zwischen Körper (2, 3) und Kühleinrichtung (5, 18) Wärme zur Kühleinrichtung (5, 18) übertragen wird. Um die Oberflächentemperatur der beheizten Prozesskammerwandung lokal reproduzierbar zu beeinflussen, werden in den Abstandsraum zwischen Kühl- oder Heizeinrichtung (4, 5, 17, 18) bringbare Regelkörper (6, 19) vorgeschlagen. Diese werden während der thermischen Behandlung oder zwischen zeitlich aufeinanderfolgenden Behandlungsschritten derart verlagert, dass der Wärmetransport lokal beeinflusst wird.
|
