发明名称
摘要
申请公布号 JP4646093(B2) 申请公布日期 2011.03.09
申请号 JP20000272344 申请日期 2000.09.07
申请人 发明人
分类号 C23C16/34;H01S5/323;H01S5/22;H01S5/343 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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