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发明名称 CERIUM OXIDE POWDER FOR ONE-COMPONENT CMP SLURRY, PREPARATION METHOD THEREOF, ONE-COMPONENT CMP SLURRY COMPOSITION COMPRISING THE SAME, AND METHOD OF SHALLOW TRENCH ISOLATION USING THE SLURRY
摘要
申请公布号 EP1931597(A4) 申请公布日期 2011.03.09
申请号 EP20060798615 申请日期 2006.09.01
申请人 LG CHEMICAL CO. LTD 发明人 CHO, SEUNG-BEOM;NHO, JUN-SEOK;SHIN, DONG-MOK;KIM, JONG-PIL;OH, MYOUNG-HWAN;KIM, JANG-YUL;CHOI, EUN-MI;KO, MIN-JIN
分类号 C01F17/00;B24B37/00;B82Y10/00;B82Y30/00;B82Y99/00;C09K3/14;H01L21/304 主分类号 C01F17/00
代理机构 代理人
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