| 发明名称 | 增透硬掩膜组合物和该组合物的使用方法 | ||
| 摘要 | 提供了用于平版印刷工艺的具有增透特性的硬掩膜组合物及其使用方法和用该方法制成的半导体装置。本发明提供的增透硬掩膜组合物含有：(a)含有至少一种具有如说明书中所述的式(I)单体单元的聚合物的聚合物组分；(b)交联组分；和(c)酸催化剂。 | ||
| 申请公布号 | CN101238414B | 申请公布日期 | 2011.03.09 |
| 申请号 | CN200580051275.7 | 申请日期 | 2005.12.09 |
| 申请人 | 第一毛织株式会社 | 发明人 | 吴昌一;鱼东善;金到贤;李镇国;南伊纳;尹熙灿;金钟涉 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人 | 周建秋;王凤桐 |
| 主权项 | 1.一种增透硬掩膜组合物，该组合物含有：(a)含有至少一种含有式(I)单体单元的聚合物的聚合物组分；<img file="FSB00000227547300011.GIF" wi="1588" he="687" />其中R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>各自独立地选自由氢、羟基、烷基、芳基、烯丙基、卤素、以及它们的任意组合所组成的组中；R<sub>3</sub>和R<sub>4</sub>各自独立地选自由氢、交联官能团、发色团、以及它们的任意组合所组成的组中；R<sub>5</sub>和R<sub>6</sub>各自独立地选自由氢和烷氧基硅烷基所组成的组中；R<sub>7</sub>选自由氢、烷基、芳基、烯丙基、以及它们的任意组合所组成的组中；和n是正整数；(b)交联组分；和(c)酸催化剂；所述含有式(I)单体单元的聚合物的重均分子量为5,000g/mol至15,000g/mol，多分散性为1.5至2.5。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道 | ||