发明名称 SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR101020436(B1) 申请公布日期 2011.03.08
申请号 KR20080042402 申请日期 2008.05.07
申请人 发明人
分类号 C30B15/00;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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