发明名称 Chemically Amplified Resist Material and Patterning Method Using Same
摘要
申请公布号 KR101019307(B1) 申请公布日期 2011.03.07
申请号 KR20030045923 申请日期 2003.07.08
申请人 发明人
分类号 G03F7/039;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/38;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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