| 发明名称 |
CATHODE WITH INNER AND OUTER ELECTRODES AT DIFFERENT HEIGHTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110022081(A) |
申请公布日期 |
2011.03.04 |
| 申请号 |
KR20117001811 |
申请日期 |
2009.06.11 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
HOFFMAN DANIEL J.;BUCHBERGER DOUGLAS A.;KATS SEMYON L.;KATZ DAN |
| 分类号 |
H05H1/34;H01L21/205;H01L21/3065 |
主分类号 |
H05H1/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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