| 发明名称 |
DETECTION OF ARCING EVENTS IN WAFER PLASMA PROCESSING THROUGH MONITORING OF TRACE GAS CONCENTRATIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110021768(A) |
申请公布日期 |
2011.03.04 |
| 申请号 |
KR20107025359 |
申请日期 |
2009.05.04 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
HUDSON ERIC;FISCHER ANDREAS |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/205;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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