| 发明名称 |
UV-Strahlungsüberwachung in der Halbleiterverarbeitung unter Anwendung eines temperaturabhänigen Signals |
| 摘要 |
In einer UV-Prozessanlage für die Halbleiterbearbe Überwachungssignal verwendet, um die aktuelle Strahlungsstärke der UV-Strahlungsquelle zu bestimmen. Folglich wird eine schnelle und zuverlässige Überwachung und/oder Steuerung der Strahlungsstärke von UV-Prozessanlagen erreicht.
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| 申请公布号 |
DE102009039417(A1) |
申请公布日期 |
2011.03.03 |
| 申请号 |
DE200910039417 |
申请日期 |
2009.08.31 |
| 申请人 |
GLOBALFOUNDRIES DRESDEN MODULE ONE LTD. LIABILITYCOMPANY & CO. KG;GLOBALFOUNDRIES INC. |
发明人 |
MAYER, ULRICH;SCHEPERS, THORSTEN |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/84;G21K5/00;H01L21/3105 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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