OPTICAL ARRANGEMENT FOR ELLIPSOMETRY

摘要

In einer optischen Anordnung (1) zum Messen spektroskopischer Eigenschaften einer an einer Probenposition (2) befindlichen Probe wird ein Lichtbündel über einen ersten Drehspiegel (7) und einen ersten bogenförmigen Hauptspiegel (8) auf die Probenposition in einem einstellbaren Einfallswinkel (f) gelenkt, und das von der Probenposition reflektierte Licht wird über einen zweiten bogenförmigen Hauptspiegel (18) und einen zweiten Drehspiegel (17) einer Messung zugeführt. Erster und zweiter Hauptspiegel (8, 18) haben eine Spiegelfläche, die zumindest einem streifenförmigen Ausschnitt einer Rotationsfläche um die Hauptachse (4) entspricht und die von dem ersten Drehspiegel (7) in dessen verschiedenen einstellbaren Drehpositionen ausgehendes Licht auf die Probenposition wirft, wobei die Drehspiegel (7, 17) einander gegenüber auf der Hauptachse (4) angeordnet sind und beide gegenüber ihren Drehachsen um einen Winkel geneigt sind.