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Halbleiter-Schichtmaterial, insbesondere zur Verwendung als Emittermaterial für eine Heteroübergangs-Solarzelle, gebildet als Stapel aus jeweils einer Mehrzahl alternierend übereinander angeordneter erster und zweiter Schichten, wobei die ersten Schichten aus einem elementaren, polykristallinen Halbleiter und die zweite Schicht aus einer sub-stöchiometrischen elektrisch isolierenden Verbindung, insbesondere einem Oxid, Carbid oder Nitrid, des Halbleiters bestehen und wobei durch eine Temperung die Grenzflächen zwischen den ersten und zweiten Schichten derart irregulär strukturiert sind, dass zwischen benachbarten, durch eine zweite Schicht voneinander getrennten ersten Schichten Mikrokontaktbereiche ausgebildet sind.
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