发明名称 结合互补金属氧化物半导体集成电路的NMOS和PMOS晶体管使用不同的栅介质
摘要 可以利用具有不同栅介质的NMOS和PMOS晶体管来形成互补金属氧化物半导体集成电路。可以例如通过置换过程形成不同的栅介质。作为多个示例,栅介质可以在材料、厚度或形成技术上不同。
申请公布号 CN101982874A 申请公布日期 2011.03.02
申请号 CN201010286495.0 申请日期 2005.06.24
申请人 英特尔公司 发明人 M·梅茨;S·达塔;J·卡瓦利罗斯;M·多茨;J·布拉斯克;R·乔
分类号 H01L21/8238(2006.01)I;H01L27/092(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I 主分类号 H01L21/8238(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 柯广华;高为
主权项 一种方法,包括:利用具有不同栅介质的NMOS和PMOS晶体管来形成互补金属氧化物半导体集成电路。
地址 美国加利福尼亚州
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