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发明名称 METHOD OF SPLITTING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP2212910(B1) 申请公布日期 2011.03.02
申请号 EP20080843202 申请日期 2008.10.21
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 BEN MOHAMED, NADIA;KERDILES, SEBASTIEN
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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