摘要 |
1. Датчик на поверхностных акустических волнах (ПАВ), содержащий подложку из ниобата лития (LiNbO3) со специально обработанной нижней поверхностью, встречно-штыревые преобразователи (ВШП), напыленные на подложку с определенным шагом, основание и акустические поглотители паразитных ПАВ, отличающийся тем, что он снабжен акустическим звуководом в виде полированного бруска металла, нижняя поверхность подложки обработана так, что нижняя поверхность подложки под ВШП - шероховатая, а нижняя поверхности в центральной части между ВШП - гладкая, при этом основание состоит из двух частей, между которыми находятся акустический звуковод, размещенный под центральной частью подложки, причем расстояние напыления гребенок ВШП изменяется линейно от 0,176 до 1,176 мм, а шаг напыления зависит от количеств гребенок ВШП. ! 2. Датчик на поверхностных акустических волнах по п.1, отличающийся чем, что акустический звуковод выполнен из металла, например бронзы. |