发明名称 METHOD OF MANUFACTURING FERROELECTRIC MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 KR101016963(B1) 申请公布日期 2011.02.25
申请号 KR20030089403 申请日期 2003.12.10
申请人 发明人
分类号 H01L27/105 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
地址