| 发明名称 |
IMPEDANCE MATCHING NETWORK FOR USE WITH SPUTTERING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3704219(A) |
申请公布日期 |
1972.11.28 |
| 申请号 |
USD3704219 |
申请日期 |
1971.04.07 |
| 申请人 |
MCDOWELL ELECTRONICS INC. |
发明人 |
ROBERT BRUCE MCDOWELL |
| 分类号 |
H01J37/34;H03H7/40;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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