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发明名称 Halbleiteranordnungsherstellungsmethode
摘要
申请公布号 DE60238952(D1) 申请公布日期 2011.02.24
申请号 DE2002638952 申请日期 2002.11.06
申请人 FUJITSU SEMICONDUCTOR LTD. 发明人 KIKUCHI, HIDEAKI;KOMURO, GENICHI
分类号 H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/115 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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