Verfahren zur Herstellung eines Kontaktelements mit großem Aspektverhältnis und mit einer günstigeren Form in einem Halbleiterbauelement zur Verbesserung der Abscheidung einer Beschichtung,申请号DE200910023251-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung eines Kontaktelements mit großem Aspektverhältnis und mit einer günstigeren Form in einem Halbleiterbauelement zur Verbesserung der Abscheidung einer Beschichtung
摘要
申请公布号	DE102009023251(B4)	申请公布日期	2011.02.24
申请号	DE200910023251	申请日期	2009.05.29
申请人	GLOBALFOUNDRIES DRESDEN MODULE ONE LIMITED LIABILITY COMPANY & CO. KG;GLOBALFOUNDRIES INC.	发明人	FROHBERG, KAI;FEUSTEL, FRANK;WERNER, THOMAS
分类号	H01L21/283;H01L21/311;H01L21/768;H01L23/528	主分类号	H01L21/283
代理机构		代理人
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