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发明名称
Herstellungsverfahren eines Nanokristall-FLASH-Speicherbauelementes
摘要
申请公布号
DE60238893(D1)
申请公布日期
2011.02.24
申请号
DE20026038893
申请日期
2002.09.25
申请人
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD.
发明人
CHOI, WEE KIONG;CHIM, WAI KIN;NG, VIVIAN;CHAN, LAP
分类号
C23C14/58;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/423;H01L29/788;H01L29/792
主分类号
C23C14/58
代理机构
代理人
主权项
地址
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