发明名称 |
一种99.9999%五氧化二磷的生产方法 |
摘要 |
本发明公开了一种99.9999%五氧化二磷的生产方法,包括以下步骤:将纯度为99.9999%的高纯黄磷2000~5000克,按流速约300~350克/小时的速度进入燃烧塔内的托盘式燃磷区;通入压力为0.2~0.5kgf/cm2的金属杂质含量不大于50ppb的空气或氧气,其有效氧的过量系数摩尔比为1.8~2.6,氧气流量控制范围为8~12升/分钟,空气气流量控制范围为45~65升/分钟;经过6~15小时的反应燃烧,用洁净的复合袋在塔底出料口收集五氧化二磷产品。本发明生产的产品单项金属杂质含量最高不超过100ppb,常见20项金属杂质总量不超过0.5ppm,能达到半导体分离器件和集成电路掺杂的要求。 |
申请公布号 |
CN101979310A |
申请公布日期 |
2011.02.23 |
申请号 |
CN201010550797.4 |
申请日期 |
2010.11.19 |
申请人 |
贵州威顿晶磷电子材料有限公司 |
发明人 |
冉从庆;陈小军;涂晓雯;王天喜;刘涛;赵顺;贺思全 |
分类号 |
C01B25/12(2006.01)I |
主分类号 |
C01B25/12(2006.01)I |
代理机构 |
贵阳东圣专利商标事务有限公司 52002 |
代理人 |
袁庆云 |
主权项 |
一种99.9999%五氧化二磷的生产方法,包括以下步骤:(1)将纯度为99.9999%的高纯黄磷2000~5000克,按流速约300~350克/小时的速度进入燃烧塔内的托盘式燃磷区;(2)通入压力为0.2~0.5kgf/cm2的金属杂质含量不大于50ppb的空气或氧气,其有效氧的过量系数摩尔比为1.8~2.6,氧气流量控制范围为8~12升/分钟,空气气流量控制范围为45~65升/分钟;(3)经过6~15小时的反应燃烧,用洁净的复合袋在塔底出料口收集五氧化二磷产品。 |
地址 |
550014 贵州省贵阳市白云区新材料产业园区 |