使用可程序化的脉冲形状的激光微加工

摘要

一种激光脉冲成形技术产生了经剪裁激光脉冲频谱输出(64、66)。该等激光脉冲可以被程序化，以具有所希的脉冲宽度与脉冲形状(例如：次奈秒至10奈秒-20奈秒的脉冲宽度，而具有1奈秒至数奈秒的前缘上升时间)。较佳实施例是以一或更多个电光调变器(250、254)来执行，用以接收驱动讯号，而选择地改变入射脉冲激光放射的数量(106、112、114)，以形成经剪裁脉冲输出。触发来自该脉冲激光放射的该驱动讯号，以抑制与连接处理系统的其它级有关的扰动，且实质上去除与脉冲激光放射建立时间有关的扰动。

主权项

一种发射经剪裁脉冲输出的动态激光脉冲成形产生器，包括：一脉冲激光源，其产生脉冲激光放射；一光学侦测器，其响应于该脉冲激光放射的发生以产生一侦测器输出讯号；一光学调变器，其与该脉冲激光源光学地相关，以响应于对该光学调变器所提供的驱动控制输出，而产生该脉冲激光放射的输出传输的多个状态；以及驱动电路，其响应于该侦测器输出讯号与控制指令输出，以产生该驱动控制输出，该侦测器输出讯号同步该输出传输的多个状态的产生、与该脉冲激光放射以及该控制指令输出的发生，以提供该脉冲激光放射的输出传输的多个状态的产生序列，以形成显现经剪裁时间脉冲轮廓的一抑制扰动的经剪裁脉冲输出。