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发明名称 ELECTROMECHANICAL COMPONENT VIBRATING AT NANOMETRIC OR MICROMETRIC SCALE WITH ENHANCED DETECTION LEVEL
摘要
申请公布号 EP2201681(B1) 申请公布日期 2011.02.23
申请号 EP20080805144 申请日期 2008.10.08
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES;STMICROELECTRONICS SA 发明人 CASSET, FABRICE;DURAND, CEDRIC
分类号 H03H9/02;H03H3/007 主分类号 H03H9/02
代理机构 代理人
主权项
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