| 发明名称 |
MEASURING THE SHAPE AND THICKNESS VARIATION OF A WAFER WITH HIGH SLOPES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2286180(A2) |
申请公布日期 |
2011.02.23 |
| 申请号 |
EP20090747614 |
申请日期 |
2009.05.14 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
TANG, SHOUHONG;SAPPEY, ROMAIN |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B9/02;G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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