| 发明名称 |
AQUEOUS DISPERSION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING, CHEMICAL MECHANICAL POLISHING METHOD, AND KIT FOR PREPARING AQUEOUS DISPERSION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2006891(A4) |
申请公布日期 |
2011.02.23 |
| 申请号 |
EP20070739939 |
申请日期 |
2007.03.27 |
| 申请人 |
JSR CORPORATION |
发明人 |
TAKEMURA, AKIHIRO;SHIDA, HIROTAKA;IKEDA, MASATOSHI |
| 分类号 |
B24B37/04;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321;H01L21/768 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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