发明名称 PHOTOSENSITIVE COMPOSITIONS
摘要 PURPOSE:To provide photosensitive compositions of a high sensitivity and not requiring organic solvents by employing water soluble azide compounds having a spectral light absorption region in a range of long wavelengths.
申请公布号 JPS51123628(A) 申请公布日期 1976.10.28
申请号 JP19750047523 申请日期 1975.04.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOBASHI TAKAHIRO;NONOHIRA SABUROU;HATANO YUKIO
分类号 H01J9/227;H01J29/22;H01L21/027;H01L21/312;H05K3/06 主分类号 H01J9/227
代理机构 代理人
主权项
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