发明名称 Vertical carbon nanotube - field effect transistor and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 KR101015498(B1) 申请公布日期 2011.02.21
申请号 KR20030038521 申请日期 2003.06.14
申请人 发明人
分类号 H01L29/772;B82Y10/00;H01L51/30;H03K3/037;H03K3/12;H03K3/286 主分类号 H01L29/772
代理机构 代理人
主权项
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