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发明名称 Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
摘要
申请公布号 DE102009017464(B4) 申请公布日期 2011.02.17
申请号 DE200910017464 申请日期 2009.04.03
申请人 CARL ZEISS OIM GMBH 发明人 KNUPFER, KLAUS;HUSS, VOLKER;BECK, ROLF;KIMMIG, WOLFGANG
分类号 G01N21/88;G01B11/24;G01B11/25;G01N21/956 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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