发明名称 Novel resins and photoresist compositions comprising same
摘要
申请公布号 KR101015093(B1) 申请公布日期 2011.02.16
申请号 KR20030034603 申请日期 2003.05.30
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/033;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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