一种浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器

摘要

本专利公开了一种浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器，它采用在前视光场方向上原位集成红外镜面窗口的浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器的结构方案。浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器不仅具有微凸镜列阵型探测器能抑制串音和提高响应率的优点，而且还能通过将微透镜列阵与前视光场耦合界面迁移到红外镜面窗口位置，以减小受衍射极限限制的光敏元尺寸。这解决了微凸镜列阵型红外焦平面探测器受红外衍射极限严重限制的缺点。同时，折射率合适的低温环氧胶、二氧化硅和硫化锌等多种材料，都能方便地制作浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器的红外镜面窗口。因而本专利具有结构合理和可制作性好的特点。

主权项

一种浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器，它包括红外焦平面、微凸镜列阵和红外镜面窗口，其特征在于：在红外焦平面探测器的红外光敏元列阵芯片的砷化镓衬底(101)背面直接通过微机械加工原位集成有微凸镜列阵(4)，所述的微凸镜列阵(4)中的各个微凸镜在空间上，分别一一垂直对应于光敏元列阵中的各个光敏元，且每一个微凸镜的光轴与其对应的光敏元的光敏面中心法线重合；由红外透明材料通过微机械加工制作而成的红外镜面窗口(5)位于红外焦平面探测器前视光场，所述的红外镜面窗口(5)将红外焦平面探测器背面砷化镓衬底(101)上的微凸镜列阵完全浸没；入射的红外目标辐射通过红外镜面窗口经微凸镜汇聚于光敏元列阵芯片像元有源区的中心区域。