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发明名称
evaporation source
摘要
申请公布号
KR101015277(B1)
申请公布日期
2011.02.15
申请号
KR20080125094
申请日期
2008.12.10
申请人
发明人
分类号
C23C14/24;C23C14/06
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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