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发明名称 LAYERED STRUCTURES COMPRISING SILICON CARBIDE LAYERS, A PROCESS FOR THEIR MANUFACTURE AND THEIR USE
摘要
申请公布号 KR20110014996(A) 申请公布日期 2011.02.14
申请号 KR20107026420 申请日期 2009.04.27
申请人 BASF SE 发明人 TRAUT ALEXANDER;WAGNER NORBERT;SHIH CHIEN HSUEH STEVE
分类号 H01L21/312;H01L21/316 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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