| 摘要 |
1. Устройство для производства трихлорсилана, которое разлагает полимер, содержащий хлорсиланы с высокой температурой кипения, полученные в процессе производства поликристаллического кремния, при производстве трихлорсилана или в процессе превращения, тем самым, производя трихлорсилан, устройство содержит: ! печь разложения, обеспечивающую реакцию хлористого водорода с полимером при высоких температурах, для производства трихлорсилана; ! нагревательный элемент, нагревающий внутреннюю часть печи разложения; ! трубу подачи сырья для направления полимера и хлористого водорода к внутренней нижней части печи разложения вдоль продольного направления печи разложения и подачи в печь разложения через нижнее концевое отверстие трубы подачи сырья; ! реакционную камеру, предусмотренную между наружной периферийной поверхностью трубы подачи сырья и внутренней периферийной поверхностью печи разложения; ! трубу отведения газа для отведения реакционного газа из верхней части реакционной камеры; !ребро, которое направляет полимер и хлористый водород, подаваемые из нижнего концевого отверстия трубы подачи сырья, для смешения и поднятия вверх, и сформированное как единое целое с, по меньшей мере, одной из наружной периферийной поверхности трубы подачи сырья или внутренней периферийной поверхности печи разложения. ! 2. Устройство для производства трихлорсилана по п.1, в котором труба подачи сырья установлена прямо, вдоль центральной оси печи разложения. ! 3. Устройство для производства трихлорсилана по п.1, ! в котором система подачи полимера и система подачи хлористого водорода присоединены к верхней секции трубы по |
