| 摘要 |
Es wird ein Sensorelement, insbesondere mehrkanaliger Beschleunigungssensor, mit einem Substrat und einer seismischen Masse vorgeschlagen, wobei das Sensorelement ein Detektionselement zur Detektion einer Auslenkung der seismischen Masse relativ zum Substrat aufweist und wobei das Sensorelement ein Anregungselement zur Anregung einer Auslenkung der seismischen Masse senkrecht zur Hauptstreckungsebene aufweist. |
