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发明名称 SAMMELN VON SEKUNDÄRELEKTRONEN DURCH DIE OBJEKTIVL
摘要
申请公布号 DE60143751(D1) 申请公布日期 2011.02.10
申请号 DE20016043751 申请日期 2001.04.23
申请人 FEI CO. 发明人 GERLACH, ROBERT L.;VAN DER MAST, KAREL D.;SCHEINFEIN, MICHAEL R.
分类号 H01J37/252;H01J37/28;G01Q10/04;G01Q30/02;G01Q30/04;H01J37/141;H01J37/244;H01J37/256 主分类号 H01J37/252
代理机构 代理人
主权项
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