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发明名称 VERFAHREN ZUM DOPPELSEITIGEN POLIEREN VON WAFERN
摘要
申请公布号 DE602006019273(D1) 申请公布日期 2011.02.10
申请号 DE20066019273T 申请日期 2006.06.28
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD. 发明人 UENO, JUNICHI;KOBAYASHI, SYUICHI
分类号 B24B37/00;B24B37/08;B24B57/00;H01L21/304 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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