| 发明名称 | 去除液体中微气泡/微粒的方法、液体供应装置及其应用 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种移除微气泡/微粒的液体供应装置，包括一管路、一激光产生器及至少一微气泡/微粒出口。激光产生器提供激光于该管路的通路上，其提供激光的方式可使一微气泡/微粒阻挡/排斥墙形成，以阻挡与/或排斥管路的液体中的微气泡与/或微粒。微气泡/微粒出口与该管路连通，位于微气泡/微粒阻挡/排斥墙与液体入口之间，且紧邻微气泡/微粒阻挡/排斥墙，用以导出微气泡与/或微粒。 | ||
| 申请公布号 | CN101281375B | 申请公布日期 | 2011.02.09 |
| 申请号 | CN200710092047.5 | 申请日期 | 2007.04.04 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 杨进盛;简文胜 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯;李晓舒 |
| 主权项 | 一种移除微气泡/微粒的液体供应装置，用于浸润式光刻技术，该移除微气泡/微粒的液体供应装置包括：一管路，包括一液体入口与一液体出口；一激光产生器，用以提供激光于该管路的通路上，该激光的提供方式可使一微气泡/微粒阻挡/排斥墙形成，以阻挡与/或排斥该管路中的多数个微气泡与/或微粒通过并累积于该阻挡/排斥墙上，而可通过该阻挡/排斥墙的液体均不包含有所述微气泡/微粒；以及至少一微气泡/微粒出口，与该管路连通，位于该微气泡/微粒阻挡/排斥墙与该液体入口之间，且紧邻该微气泡/微粒阻挡/排斥墙，通过该液体流动的作用力，以将累积于该阻挡/排斥墙上的该些微气泡与/或微粒从该出口导出。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区 | ||