| 发明名称 | 具有可移动遮蔽的电极设置结构 | ||
| 摘要 | 本发明包括用于涂布装置的电极设置结构，其具有静止第一电极(3)以及第二可移动电极(18)，其主表面在涂布处理过程中彼此相对，其中，第二电极(18)可沿平行于相对主表面的平面移动，其中，在相对于主表面横向行进的电极的至少一个端面设置有电遮蔽(12，19，13)，其至少部分地平行于一个电极的端面延伸，其中，遮蔽的至少一部分(14)被形成为可进行移动。 | ||
| 申请公布号 | CN101971287A | 申请公布日期 | 2011.02.09 |
| 申请号 | CN200780101476.2 | 申请日期 | 2007.11.08 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 弗兰克·斯达尔;乌尔夫·斯蒂芬;奥拉夫·斯坦克;克劳斯·斯加德 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 赵飞;南霆 |
| 主权项 | 一种电极设置结构，包括静止第一电极(3)以及第二可移动电极(18)，在涂布处理过程中，所述第一电极与所述第二电极的主表面彼此相对，其中，所述第二电极(18)可沿平行于所述相对主表面的平面移动，并且其中，电遮蔽(12，19，13)设置于相对于所述主表面横向行进的电极的至少一个端面，所述电遮蔽至少部分地平行于一个电极的所述端面延伸，使得所述遮蔽的至少一部分(14)被形成为可进行移动。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||