发明名称 Silizium-Einkristall-Wafer, Verfahren zur Herstellung eines Silizium-Einkristalls oder Verfahren zur Herstellung eines Silizium-Einkristall-Wafers, und Halbleiterbauelement
摘要
申请公布号 DE112009000569(T5) 申请公布日期 2011.02.03
申请号 DE200911000569T 申请日期 2009.02.19
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD. 发明人 EBARA, KOJI;IGAWA, SHIZUO;OKA, TETSUYA
分类号 C30B29/06;C30B33/02 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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