发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE EINES GEGENSTANDS
摘要
申请公布号 DE502008002094(D1) 申请公布日期 2011.02.03
申请号 DE200850002094T 申请日期 2008.07.11
申请人 CARL ZEISS AG 发明人 KNUPFER, KLAUS;SPRUCK, BERND;KIMMIG, WOLFGANG;BECK, ROLF
分类号 G01N21/88;G01B11/25;G01B11/30 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
地址