基于DSP的数字化磁控溅射电源控制系统

摘要

本实用新型公开了一种基于DSP的数字化磁控溅射电源控制系统，包括DSP芯片、移相全桥DC/DC变换器、直流斩波电路、数据采集模块、输出模式控制模块；DSP芯片包括事件管理器A、事件管理器B、ADC单元和GPIO接口；事件管理器A与移相全桥DC/DC变换器导线连接；事件管理器B与直流斩波电路导线连接；ADC单元与数据采集模块导线连接；GPIO接口与输出模式控制模块导线连接。其有益效果是，使用DSP快速数据处理的能力，实现了对电流的闭环控制，使输出电流的恒定，并且针对溅射过程中的异常放电引起的“打弧”现象，可以起到提前灭弧，随后即能自动恢复到正常运行状态，对溅射靶和电源有可靠的保护作用。

主权项

一种基于DSP的数字化磁控溅射电源控制系统，其特征在于：包括DSP芯片（1）、移相全桥DC/DC变换器（8）、直流斩波电路（9）、数据采集模块（10）、输出模式控制模块（13）；所述的DSP芯片包括事件管理器A（2）、事件管理器B（3）、ADC单元（4）和GPIO接口（6）；事件管理器A（2）与移相全桥DC/DC变换器（8）导线连接；事件管理器B与直流斩波电路（9）导线连接；ADC单元（4）与数据采集模块（10）导线连接；GPIO接口（6）与输出模式控制模块（13）导线连接。