用于糊状物分配器的头部单元

摘要

本发明提供一种用于糊状物分配器的头部单元，在改变该头部单元的喷嘴与基板之间的相对距离时，糊状物分配器通过喷嘴将糊状物图样分配到基板上，该头部单元包括：头部本体，支承该喷嘴；传感器，通过沿一个方向扫描形成在基板上的糊状物图样来测量形成在基板上的糊状物图样的横截面面积；以及驱动单元，其使得传感器相对于该头部本体水平地来回转动，以测量糊状物图样的沿X轴方向的横截面面积以及糊状物图样的沿Y轴方向的横截面面积。

主权项

一种在改变喷嘴与基板之间的相对距离的同时通过头部单元的喷嘴将糊状物图样分配到所述基板上的糊状物分配器中使用的头部单元，所述头部单元包括：头部本体，支承所述喷嘴；传感器，通过沿一个方向扫描形成在所述基板上的所述糊状物图样来测量形成在所述基板上的所述糊状物图样的横截面面积；驱动单元，使得所述传感器能够围绕枢转点水平地来回转动，以测量所述糊状物图样沿X轴方向的横截面面积和所述糊状物图样沿Y轴方向的横截面面积；以及转动限制单元，设置在所述驱动单元上，所述转动限制单元使得所述传感器90度范围内转动。