| 发明名称 | 沉积环和静电吸盘 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供静电吸盘和与之配合使用的沉积环，所述静电吸盘上的各个把持部的形状互不相同、和/或大小互不相同、和/或构成不等边多边形。解决了现有技术中容易将沉积环错误安装到静电吸盘上的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN201732778U | 申请公布日期 | 2011.02.02 |
| 申请号 | CN201020180720.8 | 申请日期 | 2010.04.29 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 | 发明人 | 方文勇;刘兆虎;曾海;李江风 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种静电吸盘，包括：2个卡持部，其特征在于，所述2个卡持部的形状互不相同、和/或大小互不相同，且其中一个卡持部位于所述静电吸盘的对称轴上时，另一个卡持部位于所述静电吸盘的对称轴之外。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||