正性光致抗蚀剂组合物

摘要

公开了一种用于液晶显示器的正性光致抗蚀剂组合物。本发明的正性光致抗蚀剂组合物含有3-50重量％的具有特定结构的粘结剂树脂，2-40重量％的光敏化合物和10-95重量％的有机溶剂。由于该组合物具有优良的基本物理性能如UV透射率、膜保持性、图形稳定性和耐化学药品性等以及优良的耐热性能，本发明的正性光致抗蚀剂组合物能够用于形成液晶显示器的有机绝缘体、金属图形、隆起处、钻孔和UV保护层的图形。

主权项

1.一种正性光致抗蚀剂组合物，该组合物含有3-50重量％的粘结剂树脂、2-40重量％的光敏化合物和10-95重量％的有机溶剂，该粘结剂树脂选自由具有以下化学式1结构的树脂、具有以下化学式2结构的树脂、和它们的混合物所组成的组中：化学式1其中，R₁、R₂和R₃各自独立地为H或甲基，R₄为含有环氧基的具有1-10个碳原子的烷基或环烷基，x和y表示重复单元的摩尔比值，其中，所述化学式1的粘合剂树脂为无规共聚物，在所述化学式1所示的粘结剂树脂为不限于给出的重复单元顺序的前提下，x为0.02-0.80，y为0.20-0.98；化学式2其中，R₅、R₆、R₇和R₉各自独立地为H或甲基，R₈为含有环氧基的具有1-10个碳原子的烷基或环烷基，R₁₀为选自由苯基、苯甲氧基羰基、4-羟苯基和4-乙酰氧基苯基所组成的组中的至少一种，l、m和n分别为重复单元的摩尔比值，其中，所述化学式2的粘合剂树脂为无规共聚物，在所述化学式2所示的粘结剂树脂为不限于给出的重复单元顺序的前提下，l为0.02-0.70，m为0.05-0.60，n为0.01-0.60。