硅片台双台交换曝光系统及双台交换方法

摘要

本发明公开了一种硅片台双台交换曝光系统，包括基台、处于不同工位的2个硅片台、相互垂直设置的X梁和Y梁、分别对称设置于基台两侧的2个X向直线导轨和2个Y向直线导轨、及驱动与夹紧单元；X梁和Y梁沿直线导轨自由滑动，Y梁由错层结构的双侧直线导轨和连接架组成，X梁设置在连接架下方；直线导轨和双侧直线导轨在同一水平高度上；驱动与夹紧单元用于驱动并携带硅片台移动。本发明硅片台交换位置时，至少1个硅片台同时被X梁和Y梁上的驱动与夹紧单元承载，从而实现从X梁至Y梁的转移，或者从Y梁至X梁的转移。本发明流程简单，交换效率高，工位交换时硅片台没有脱离导轨，保证了其位置精度，且两硅片台也不会发生碰撞。

主权项

一种硅片台双台交换曝光系统，其特征在于，包括基台，处于不同工位的2个硅片台，相互垂直设置的X梁和Y梁，分别对称设置于基台两侧的2个X向直线导轨和2个Y向直线导轨，及驱动与夹紧单元；所述X梁和Y梁的两端分别设置在所述Y向直线导轨和X向直线导轨中且能够沿直线导轨自由滑动；所述Y梁由双侧直线导轨和连接架组成，所述双侧直线导轨和连接架为错层结构，所述X梁设置在所述Y梁的连接架下方；所述2个X向直线导轨、所述2个Y向直线导轨，以及所述Y梁的双侧直线导轨在同一水平高度上；所述驱动与夹紧单元分别设置于X梁和Y梁上，用于驱动并携带硅片台移动，当所述的2个硅片台移动至一交换位置时，其中至少1个硅片台同时被X梁和Y梁上的驱动与夹紧单元承载，从而实现该硅片台从X梁至Y梁上的转移，或者从Y梁至X梁上的转移。