使用展像段的光学图案生成器

摘要

光学图案生成器使用旋转反射展像段以产生与交叉图案方向相比沿着图案方向可以具有不同尺度的图像。例子包括单展像图案生成器和双展像图案生成器二者，这些生成器独立控制图像空间相对孔径并且由此在两个正交方向上控制图像尺度。

主权项

一种用于在目标位置生成图形图案的单展像光学图案生成器，包括具有多个反射展像段的旋转部件，所述展像段具有至少两个不同夹角，所述旋转部件被定位成使得所述展像段随着所述旋转部件绕着它的旋转轴旋转而旋转经过入射光束，各展像段偏转所述入射光束以生成所述图形图案中的图形。