一种多孔结构的衬底及其制备方法

摘要

本发明提供一种多孔结构的衬底，所述衬底的表面形貌呈无序多孔状，所述孔的深度小于所述衬底的厚度，所述孔相互独立，孔内各不连通。本发明还提供一种制备所述多孔结构的衬底的方法，包括将所述衬底放置于所述衬底制备装置的注入腔室内；调整所述衬底制备装置的工艺参数进入预先设置的数值范围；将所述衬底制备装置产生的等离子体中的反应离子注入至所述衬底内；及所述反应离子与所述衬底发生反应，形成多孔衬底。本发明所述的多孔结构的衬底底部无连通，利用此多孔结构的衬底来制造太阳能电池有利于光的吸收、载流子输运和收集；本发明所提供的制备多孔结构的衬底的方法工艺简单，控制方便，无需清洗。

主权项

一种多孔结构的衬底，其特征在于：所述衬底的表面形貌呈无序多孔状，所述孔的深度小于所述衬底的厚度，所述孔相互独立，孔内各不连通。