发明名称 石英盘提升工具
摘要 本实用新型涉及一种石英盘提升工具。这种石英盘提升工具,包括至少两根竖向的支撑腿,所述支撑腿的上部通过若干连接杆连接成一体,所述连接杆上设有用于与起升机构连接的连接部,所述支撑腿的下部内侧分别设有托板,所述托板用于托住所述石英盘。石英盘通过该石英盘提升工具与起升机构连接,从而可以借助起升机构实现石英盘的省力且平稳地移动,不但减轻了操作人员移动石英盘的工作强度,而且也可以避免石英盘在移动过程中受到损伤。
申请公布号 CN201729567U 申请公布日期 2011.02.02
申请号 CN201020200952.5 申请日期 2010.05.21
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 发明人 李文;丁振宇;金伟;刘志攀
分类号 B66C1/22(2006.01)I 主分类号 B66C1/22(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种石英盘提升工具,其特征在于,包括至少两根竖向的支撑腿,所述支撑腿的上部通过若干连接杆连接成一体,所述连接杆上设有用于与起升机构连接的连接部,所述支撑腿的下部内侧分别设有托板,所述托板用于托住所述石英盘。
地址 201203 上海市张江路18号
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