摘要 |
Eine Druckmesszellenanordnung umfasst einen optischen Membrandruckwandler 23, der einen Gehäusekörper 1 mit einer davon in geringem Abstand angeordneten Membrane 5, welche einem Prozessraum 12 mit dem zu messenden gasförmigen Medium ausgesetzt ist, wobei der Gehäusekörper 1 ein optisch transparentes Fenster 3 aufweist, und dass beabstandet von diesem Fenster 3 über einen optischen Pfad 9, eine Signalaufnahmeeinheit 32 mit einer Lichtleitfaser 22 zur Ein- und Auskopplung von Licht auf die Oberfläche der Membrane 5 vorgesehen ist, derart dass dadurch eine Messstrecke ausgebildet ist zur Erfassung von Auslenkungen der Membrane 5 mit einer Signalauswerteeinheit 24, wodurch eine Fabry-Perot-Interferometeranordnung ausgebildet wird. Hierbei ist der Prozessraum 12 von einer Kammerwand 30 gegen die Atmosphäre 10 hin abschliessend umgeben, und der Prozessraum 12 ist mit einem Trennmittel 25 begrenzt, derart dass zwischen dem Trennmittel 25, 31 und der davon beabstandeten Kammerwand 30 ein Klimaraum 11 ausgebildet ist. Die Signalaufnahmeeinheit 32 ist an der Kammerwand 30 optisch hindurchführend angeordnet und das Trennmittel 25 weist mindestens im Bereich des optischen Pfades 9 optisch transparente Mittel 25a auf, derart dass zwischen dem Membrandruckwandler 23 und der Signalaufnahmeeinheit 32 eine optische Verbindung besteht zur Übermittlung des optischen Drucksignals.
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